來源於:長鑫存儲導入高K金屬柵極技術:推進1a級節點研發-pg網址入口
發布時間:2026-08-28 15:54:26
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8月28日消息,長鑫存儲中國DRAM製造商長鑫存儲(CXMT)已在其DRAM晶體管中導入高K金屬柵極(HKMG)技術。導入 這一材料和器件層麵的金屬技術a級節點開雲在線登錄入口官網升級,有望緩解製程微縮帶來的柵極漏電難題,並為向更先進的推進1a級DRAM節點演進奠定基礎。 隨著DRAM器件尺寸持續縮小,長鑫存儲傳統二氧化矽絕緣層因厚度過薄而逐漸失效,導入電子可通過量子隧穿效應直接穿透,金屬技術a級節點引發漏電。柵極 為此,推進長鑫存儲采用氧化鉿等高介電常數(高K)材料替代傳統矽基絕緣層。長鑫存儲“K”值代表材料的導入電荷存儲和絕緣能力,氧化鉿的金屬技術a級節點開雲在線登錄入口官網介電常數遠高於二氧化矽,能在相同電壓下容納更多電荷,柵極並在保持有效絕緣的推進同時支持器件進一步微縮。 HKMG方案的另一個關鍵變化,是以定製化金屬柵極堆疊取代傳統多晶矽柵極,從而消除“多晶矽耗盡效應”帶來的電學死區,提升器件效率。 對於DRAM陣列(每個存儲單元由一晶體管一電容組成)而言,這一改進尤為重要。實際效益上,HKMG技術不僅可抑製漏電及無效發熱,還能改善功耗、提升開關速度——金屬柵極的切換速度優於多晶矽,為DRAM實現更高數據傳輸性能提供了可能。 據市場消息,長鑫存儲正將該技術應用於G4代DRAM製程及LPDDR5X產品。業界認為其G4製程對應約1z級節點,HKMG的落地意味著公司正接近1a級節點。同時,長鑫存儲還在開發下一代15nm級G5製程,工藝路線持續加速。 在高帶寬內存(HBM)領域,長鑫存儲已利用18nm級G3製程進入HBM2E風險生產階段,基於G4製程的HBM3樣品也已開始提供。此外,其DDR6內存芯片已完成研發驗證,距離量產再近一步。 麵對長鑫存儲的快速推進,三星電子、SK海力士和美光等傳統DRAM巨頭正加緊布局更先進的D0a級亞10nm節點,並轉向3D DRAM和4F?存儲單元架構(通過垂直堆疊晶體管與電容,將單元麵積壓縮至最小特征尺寸平方的4倍),以保持技術領先。 除技術升級外,長鑫存儲也在大幅擴充產能。當前月產能約20萬片晶圓,目標年底前提升至30萬片/月,其中HBM產能預計約5萬片/月。公司在上海和合肥建設兩座新工廠,建成後總月產能有望達到60萬片。 據預測,長鑫存儲可能在2030年前後於產量上超越美光;2026至2031年間,月產能預計每年增加約10萬片,至2031年達80萬片/月,較2024年增長超5倍。
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